切記!愛德華真空泵維修時(shí)必須遵循專業(yè)規(guī)范
點(diǎn)擊次數(shù):17 更新時(shí)間:2025-12-09
愛德華真空泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)、醫(yī)療設(shè)備及鍍膜工藝等對(duì)真空度、潔凈度和穩(wěn)定性要求高的領(lǐng)域。其產(chǎn)品涵蓋旋片泵、干式螺桿泵、渦輪分子泵等類型,結(jié)構(gòu)精密、材料特殊。一旦出現(xiàn)故障,若維修操作不當(dāng),不僅難以恢復(fù)性能,還可能造成二次損壞或安全隱患。因此,
愛德華真空泵維修時(shí)必須遵循專業(yè)規(guī)范,做到安全、原廠、細(xì)節(jié)。

一、愛德華真空泵維修前準(zhǔn)備
斷電與泄壓:務(wù)必切斷主電源,并通過排氣閥釋放泵腔內(nèi)殘余真空與壓力,防止意外啟動(dòng)或油液噴濺;
冷卻等待:運(yùn)行后的泵體溫度可達(dá)80℃以上,需靜置至室溫再拆卸,避免燙傷或熱變形;
查閱手冊:嚴(yán)格參照維修指南(如iGLX、nXDS系列手冊),確認(rèn)拆裝順序與專用工具要求。
二、核心注意事項(xiàng)
嚴(yán)禁非授權(quán)拆解
愛德華真空泵多采用模塊化密封設(shè)計(jì),內(nèi)部軸承、轉(zhuǎn)子間隙精度達(dá)微米級(jí)。非專業(yè)人員強(qiáng)行拆卸易導(dǎo)致動(dòng)平衡破壞、密封失效。建議僅由經(jīng)認(rèn)證的技術(shù)人員操作,或返廠維修。
使用原廠備件
油封、O型圈、葉片、潤滑油等必須選用原廠配件。劣質(zhì)替代品可能導(dǎo)致:
油品不兼容引發(fā)碳化堵塞;
密封件耐溫/耐化學(xué)性不足,造成泄漏;
軸承公差不符,加劇振動(dòng)與磨損。
潤滑油更換規(guī)范
排油時(shí)趁熱進(jìn)行,確保舊油及污染物排出;
使用固定型號(hào)真空油(如Edwards ULTRAGRADE 15/19);
加注量嚴(yán)格按刻度線,過多導(dǎo)致過熱,過少引起潤滑不足。
防污染與潔凈操作
維修環(huán)境應(yīng)保持無塵,所有工具、零件用無絨布覆蓋。尤其在半導(dǎo)體或醫(yī)療應(yīng)用中,微粒污染會(huì)直接導(dǎo)致工藝失敗。裝配前用高純氮?dú)獯祾咔惑w。
電氣與安全聯(lián)鎖檢查
干泵常集成溫度、振動(dòng)、壓力傳感器。維修后需測試:
過熱保護(hù)是否觸發(fā);
反向旋轉(zhuǎn)報(bào)警功能;
急停按鈕響應(yīng)速度。